Name: PlanarPad™ CMP抛光垫
Brand: 平坦然

Question 1

PlanarPad CMP抛光垫是什么？

Accepted Answer

PlanarPad是平坦然自主研发的无孔隙CMP抛光垫，采用专利聚氨酯技术，提供稳定的研磨速率、延长1.4倍使用寿命、降低缺陷率，适用于先进半导体制造工艺。

Question 2

PlanarDisk CMP调节器是什么？

Accepted Answer

PlanarDisk是平坦然自主研发的CVD金刚石膜CMP调节器。无金属污染设计适用于28nm及以下制程，使用寿命远超传统产品。

Question 3

平坦然公司的产品有什么优势？

Accepted Answer

平坦然（苏州）技术有限公司专注于CMP抛光垫和调节器的自主研发与制造。产品采用无孔隙聚氨酯技术和CVD金刚石膜技术，在稳定性、使用寿命、缺陷控制等方面具有显著优势，打破国外品牌垄断。