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PlanarPad™抛光垫
CMP抛光垫采用专有的无孔隙抛光垫材料技术 实现了稳定的研磨速率曲线,显著延长抛光垫使用寿命
PlanarDisk™调节器
这款创新设计的金刚石膜调节器无金属污染 具有更长的使用寿命和更优异的缺陷性能
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